ASML（阿斯麦）官宣：卖给中芯国际的是DUV设备

【TechWeb】3月5日消息，前日中芯国际发布公告称，公司根据批量采购协议已于2020年3月16日至2021年3月2日的12个月期间就购买阿斯麦产品与阿斯麦集团签订购买单，阿斯麦购买单的总代价为1,201,598,880美元（约12亿美元）。

根据ASML公布的信息，此次交易购买的是DUV光刻技术设备。

据悉台积电N7(第一代7nm工艺)和N7P（第二代7nm工艺）为DUV光刻机制造，而其N7+(第三代7nm工艺)则由更先进的EUV光刻机制造，此次购买未涉及EUV光刻机。中芯国际已有DUV光刻机，此次购买DUV光刻机主要用于扩充产能。据传闻，此次购买设备型号或包含NXT 1980Di和NXT2050i。