证券时报e公司讯，据盛美上海消息，近日，盛美上海湿法设备4000腔顺利交付。盛美上海总经理王坚表示：“盛美的清洗设备可以做逻辑与存储90%以上的清洗工艺，我们可以期待很快湿法设备突破5000腔。” （责任编辑:董萍萍）