【中国科学院联合实验室在极紫外光领域取得创新性突破】
近期，中国科学院上海光学精密机械研究所联合哈尔滨工业大学与上海理工大学，成功完成了一项极紫外与软X射线领域的创新性研究。
研究小组首次实现了极紫外光(EUV)和软X射线的结构涡旋光的精确调控与实验验证，这一技术进步为结构光刻、结构分束调控，以及短波超分辨成像等应用领域提供了新的可能性。
相关研究成果已被权威科学期刊《PhotoniX》刊登，为“Producing focused extreme ultraviolet vortex with Fermat-spiral photon sieves”，标志着我国在光电子领域取得了新的进展。